產(chǎn)品說明：
H2O2(雙氧水)或氯酸鈉之概念及測定原理
雙氧水的氧化性很強(qiáng)，在氯化亞銅氧化為氯化銅的過程中，能增加蝕刻的速度，就再生劑而言，其扮演著很重要的角色。雖然，空氣中的氧也會(huì)產(chǎn)生再生反應(yīng)，但是，一旦生產(chǎn)量增加時(shí)，氧的再生速度就來不及，所以為了促進(jìn)蝕刻速度，作為氧化劑的雙氧水或氯酸鈉是不可缺少的。氧化劑傳感器，是將氧化劑做為蝕刻液再生反應(yīng)的促進(jìn)劑。在最小需要量下，控制最適當(dāng)?shù)奈g刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少，可大幅提高品質(zhì)、
降低成本。
目的:即是以「如何使用最小需要量的雙氧水來管理藥液品質(zhì)」作為參考量。
基于這樣的參考量，本再生控制器并不是管理氧化劑，而是檢測出蝕刻藥液的蝕刻能力；一方面用最少的氧化劑來補(bǔ)足蝕刻液中，由氧氣(O2)再生的不足部份，一方面維持蝕刻生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
(1)根據(jù)鹽酸的再生方式（空氣再生）
(2)用雙氧水產(chǎn)生再生反應(yīng)的方式(藥品再生)
雙氧水傳感器的測定原理
銅棒點(diǎn)在蝕刻液中反應(yīng)時(shí)，依據(jù)藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會(huì)產(chǎn)生電荷量的變化。氧化劑傳感器會(huì)檢測出所發(fā)生的電荷量(出力)，并傳送到“SCX9100”控制器?！癝CX9100”控制器再將氧化劑濃度和蝕刻速度等的相關(guān)資料入力；雙氧水傳感器所得到的出力在控制器上計(jì)算并顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來表示。
一價(jià)銅離子和二價(jià)銅離子的含量對于測定值而言會(huì)有何變化？
當(dāng)基板的銅(Cu)溶解于蝕刻藥液(CuCl2)中，二價(jià)銅會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)橐粌r(jià)銅。(隨著銅的溶解，電位值既會(huì)下降)。一價(jià)銅和HCl會(huì)因空氣中的O2而產(chǎn)生再生反應(yīng)。但是，生產(chǎn)量大時(shí)，空氣的O2來不及再生的部份，便需要H2O2或氯酸鈉做氧化劑。
當(dāng)一價(jià)銅一增加，電位值就會(huì)下降，而蝕刻液中的一價(jià)銅再生為二價(jià)銅時(shí)，電位值就會(huì)上升.
(3)氯化鐵溶液再生反應(yīng)的方式(藥品再生)
(FeCl3+Cu CuCl+ FeCl2)( FeCl3 +CuClCuCl2+ FeCl2)(CuCl2+Cu CuCl)
(2FeCl3+Cu CuCl2+2FeCl2)(6FeCl2+MClO×+6HCl6FeCl3+aMCl+bH2O)
(CuCl2+HCl+MClO×+CuCl2+aMCl+bH2O)